Sensirion SFM3505高性能数字质量流量计

Sensirion SFM3505高性能数字质量流量计是一款紧凑型气体流量传感器，采用小尺寸封装，具有超低噪声、卓越精度和最小压降。 SFM3505在SFM3119和SFM3100的成功基础上，采用全新设计的架构，以最小的电阻实现同类最佳性能。该系列提供两种型号：SFM3505-300标准精度型号和SFM3505-300-X高精度型号。

SFM3505由Sensirion第五代CMOSens^®技术提供支持，将传感元件和先进信号处理集成在单个微芯片上。该设计通过标准I²C接口，确保快速、稳定、完全校准的数字输出。该传感器专为长期使用而设计，凭借CMOSens芯片的卓越稳定性，无需在生产期间或现场使用过程中进行额外校准。

SFM3505传感器针对空气和氧气进行校准，集成片上温度补偿功能，可在各种工况下实现精确测量。此系列流量计是机械通风、麻醉和气体混合系统等应用中理想的吸气流量测量解决方案。

特性

基于第五代CMOSens技术
传感器元件和先进信号处理集成在单一Microchip上
针对空气和氧气进行校准
高精度
低噪声
低压降
减少对入口条件的依赖

I²C接口
片上温度补偿
无需额外校准
尺寸紧凑
白色O型圈根据ISO3601 B类标准生产，内径为16.1mm，线径为1.6mm
符合RoHS指令和REACH标准

应用

机械通风
麻醉机

气体混合系统
高精度和高流量应用

规范

空气和O₂流量范围：-150slm至300slm
传感器输出
- 气流：
- O₂流量
最大精度
- SFM3505-300：±3% m.v.量程，±0.05slm偏移量
- SFM3505-300：±2% m.v.量程，±0.05slm偏移量
最大噪声
- 量程：1% m.v.
- 偏移量：0.01slm
±（0.03slm或0.5%），-20°C至+85°C温度范围内，每10°C从25°C精度降低
典型压力依赖性
- 在525hPA（绝对压力）下为-1.5%
- 在750hPA（绝对压力）下为-0.5%
- 在1400hPA（绝对压力）下为+0.7%
- 在1650hPA（绝对压力）下为+1.0%
最大压降
- 60slm时为85Pa
- 200 Pa @ 100slm
- 750 Pa @ 200slm
3ms流量阶响应时间
0.00004slm分辨率（24位）
电源电压范围
- 工作电压：3.2V至3.4V
- 最小值-0.3V至最大绝对值5.5V

最大上电电平：2.5V
最低掉电电平：1.5V
最大电源电流
- 10mA（测量）
- 0.6mA（空闲状态）
最小SCL和SDA灌电流能力：3mA
最大DRDY驱动强度：0.05mA
典型DRDY内部电阻：4kΩ
最长上电和软重置时间：2ms
用于可用第一流量输出的最长时间：4ms
最长预热时间：50ms
最大I²C SCL频率：1000kHz
内部流速采样率范围：3880Hz至4120Hz
测量仪器最大工作/允许过压：650hPa
测量仪器最大爆破超压：1250hPa
工作温度范围：-20 °C至+85 °C
非冷凝工作湿度
2kV最大ESD等级，采用人体模型 (HBM) 在IC芯片电平进行测试
介质兼容性
- 兼容气体 - 空气、N₂、O₂、其他非侵蚀性气体（非冷凝）
- 接触材质 - PPE+PS混合物、Si、玻璃（Si3N4、SiOx）、环氧树脂、FKM，通常不润湿；金、FR4、无铅焊料